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     德國IFM易福門真空傳感器的工作原理是介質(zhì)的壓力作用在傳感器的膜片上

IFM真空傳感器的工作原理是介質(zhì)的壓力直接作用在傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻發(fā)生變化，和用電子線路檢測這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對應(yīng)于這個(gè)壓力的標(biāo)準(zhǔn)信號。

1.傳感器：能感受規(guī)定的被測量并按照一定的規(guī)律轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的器件或裝置。通常有敏感元件和轉(zhuǎn)換元件組成。

①敏感元件是指傳感器中能直接（或響應(yīng)）被測量的部分。

②轉(zhuǎn)換元件指傳感器中能較敏感元件感受（或響應(yīng)）的北側(cè)量轉(zhuǎn)換成是與傳輸和（或）測量的電信號部分。

③當(dāng)輸出為規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)信號時(shí)，則稱為變送器。

2. 測量范圍：在允許誤差限內(nèi)被測量值的范圍。

3. 量程：測量范圍上限值和下限值的代數(shù)差。

4. 精確度：被測量的測量結(jié)果與真值間的一致程度。

5. 從復(fù)性：在所有下述條件下，對同一被測的量進(jìn)行多次連續(xù)測量所得結(jié)果之間的符合程度：

6. 分辨力：傳感器在規(guī)定測量范圍圓可能檢測出的被測量的最小變化量。

7. 閾值：能使傳感器輸出端產(chǎn)生可測變化量的被測量的最小變化量。

8. 零位：使輸出的絕對值為最小的狀態(tài)，例如平衡狀態(tài)。

9. 激勵(lì)：為使傳感器正常工作而施加的外部能量（電壓或電流）。

10. 最大激勵(lì)：在市內(nèi)條件下，能夠施加到傳感器上的激勵(lì)電壓或電流的最大值。

11. 輸入阻抗：在輸出端短路時(shí)，傳感器輸入的端測得的阻抗。

12. 輸出：有傳感器產(chǎn)生的與外加被測量成函數(shù)關(guān)系的電量。

13. 輸出阻抗：在輸入端短路時(shí)，傳感器輸出端測得的阻抗。

14. 零點(diǎn)輸出：在市內(nèi)條件下，所加被測量為零時(shí)傳感器的輸出。

15. 滯后：在規(guī)定的范圍內(nèi)，當(dāng)被測量值增加和減少時(shí)，輸出中出現(xiàn)的最大差值。

16. 遲后：輸出信號變化相對于輸入信號變化的時(shí)間延遲。

17. 漂移：在一定的時(shí)間間隔內(nèi)，傳感器輸出終于被測量無關(guān)的不需要的變化量。

18. 零點(diǎn)漂移：在規(guī)定的時(shí)間間隔及室內(nèi)條件下零點(diǎn)輸出時(shí)的變化。

19. 靈敏度：傳感器輸出量的增量與相應(yīng)的輸入量增量之比。

20. 靈敏度漂移：由于靈敏度的變化而引起的校準(zhǔn)曲線斜率的變化。

21. 熱靈敏度漂移：由于靈敏度的變化而引起的靈敏度漂移。

22. 熱零點(diǎn)漂移：由于周圍溫度變化而引起的零點(diǎn)漂移。

23. 線性度：校準(zhǔn)曲線與某一規(guī)定只限一致的程度。

24. 菲線性度：校準(zhǔn)曲線與某一規(guī)定直線偏離的程度。

25.長期穩(wěn)定性：傳感器在規(guī)定的時(shí)間內(nèi)仍能保持不超過允許誤差的能力。

26. 固有憑率：在無阻力時(shí)，傳感器的自由（不加外力）振蕩憑率。

27. 響應(yīng)：輸出時(shí)被測量變化的特性。

28. 補(bǔ)償溫度范圍：使傳感器保持量程和規(guī)定極限內(nèi)的零平衡所補(bǔ)償?shù)臏囟确秶?/p>

29. 蠕變：當(dāng)被測量機(jī)器多有環(huán)境條件保持恒定時(shí)，在規(guī)定時(shí)間內(nèi)輸出量的變化。

30. 絕緣電阻：如無其他規(guī)定，指在室溫條件下施加規(guī)定的直流電壓時(shí)，從傳感器規(guī)定絕緣部分之間測得的電阻值。

場發(fā)射IFM真空傳感器是采用MEMS加工工藝研制一種新型的基于硅尖陣列場發(fā)射原理的微型IFM真空傳感器。通過理論分析， 確立了該種傳感器中硅尖場發(fā)射電流與真空度的關(guān)系。并利用干法刻蝕工藝， 在硅片上制作了高3.2μm， 曲率半徑小于70nm的200 ×42硅尖陣列。保持陽極與硅尖距離為1μm的情況下， 可以觀察到陽極電壓為10V左右時(shí)開始有明顯的場發(fā)射電流。

利用硅尖陣列場發(fā)射電流大小隨真空度變化而變化的現(xiàn)象， 研制了一種基于硅尖陣列場發(fā)射原理的場發(fā)射IFM真空傳感器。利用MEMS加工工藝制作出傳感器樣機(jī)， 并搭建測試系統(tǒng)測試其特性。通過實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)， 隨著真空度的提高， 傳感器輸出電流也會(huì)隨之增大， 而且真空度越高輸出電流越大， 分辨率、靈敏度越高。